产品简介：随着半导体技术的进步以及半导体激光器在通信、信息处理等领域的应用日益活跃，制造过程中使用的特种气体种类和数量不断增加。本系统采用气相色谱法，可自动检测半导体材料气体中痕量杂质及组分含量。
产品型号：
更新时间：2025-11-27
厂商性质：生产厂家
访 问 量 ：33
021-61434006
可测量锗烷（GeH）、磷化氢（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半导体气体中的杂质成分。
通过高性能气相色谱仪可实现高精度自动检测（操作简便）。
可检测氢气（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、C2组分、C3组分等杂质。
可测量锗烷（GeH）、磷化氢（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半导体气体中的杂质成分。
通过高性能气相色谱仪可实现高精度自动检测（操作简便）。
可检测氢气（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、C2组分、C3组分等杂质。
可测量锗烷（GeH）、磷化氢（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半导体气体中的杂质成分。
通过高性能气相色谱仪可实现高精度自动检测（操作简便）。
可检测氢气（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、C2组分、C3组分等杂质。
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